人妻秘书ol中文字幕星空传媒影视公司|中文字幕人妻中文字幕成人性电影|国产精品美女久久久久久免费亚洲国产精品中文字幕一区久久|中文字幕在线天堂中文字幕一区一区二区三区|91丨九色丨国产熟女a|亚洲国产精品91|91极品国产|色悠悠国产精品|亚洲av一线二线久久性色|9区中文字幕在线,999中文字幕精品,成人久久不卡一区二区三区,国产av专区网站大全

70%以上，生產(chǎn)成本降低50%以上。

（五）原子臺(tái)階電鍍高純單晶銅板與靶材

揭榜任務(wù)：針對(duì)6G通信、新能源等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅艽趴貫R射銅薄膜的需求，開(kāi)展大尺寸高純單晶銅板/靶材制備的關(guān)鍵技術(shù)研究。重點(diǎn)開(kāi)發(fā)原子臺(tái)階調(diào)控技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高純、高質(zhì)量銅板材的單晶制造；發(fā)展先進(jìn)電鍍制造工藝，實(shí)現(xiàn)單晶銅板材的連續(xù)增厚；基于單晶銅板材開(kāi)發(fā)單晶銅靶材，優(yōu)化磁控濺射薄膜的高質(zhì)量沉積技術(shù)，制備高性能濺射銅薄膜；同時(shí)，建設(shè)高純單晶銅板/靶材生產(chǎn)線(xiàn)，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化示范應(yīng)用。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年，實(shí)現(xiàn)原子臺(tái)階電鍍高純單晶銅板的尺寸達(dá)到≥625px×750px，純度達(dá)到6N級(jí)，厚度≥3mm；基于單晶銅板制備的單晶銅靶直徑達(dá)到2-8英寸；在相同條件下，濺射薄膜電阻率較多晶銅靶降低15%以上；建立大尺寸高純單晶銅板生產(chǎn)示范線(xiàn)，年產(chǎn)625px×750px高純單晶銅板≥5000塊。

（六）基于石墨烯原子制造技術(shù)制備高導(dǎo)熱低熱阻石墨烯熱界面材料

揭榜任務(wù)：面向高功率器件的熱管理解決方案，基于原子制造技術(shù)，發(fā)展更高效的熱界面材料。以結(jié)構(gòu)原子級(jí)精準(zhǔn)的石墨烯材料，構(gòu)筑器件熱源本體與散熱構(gòu)件本體之間的熱通道，提高熱量傳遞效率，解決器件受力形變等核心關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，在高功率器件上驗(yàn)證可靠性，并探索實(shí)現(xiàn)高效熱電轉(zhuǎn)換的可能。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年，實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)熱低熱阻的石墨烯熱界面材料規(guī)模生產(chǎn)，垂直導(dǎo)熱系數(shù)大于300W/m·K，熱阻小于0.05K·cm²/W，壓縮殘余應(yīng)力小于30PSI（50%壓縮量），回彈率大于50%，系列產(chǎn)品在不少于10000個(gè)高功率器件上示范應(yīng)用。

（七）高密度原子團(tuán)簇傳感陣列打印技術(shù)

揭榜任務(wù)：開(kāi)展基于團(tuán)簇墨水的柔性傳感陣列打印制造技術(shù)研究，突破高穩(wěn)定原子團(tuán)簇墨水可控制備及印刷電子“墨水”化過(guò)程中材料物化性能和界面性質(zhì)調(diào)控，結(jié)合高精度、大面積打印制備工藝技術(shù)，突破高性能、高效率、高分辨率打印制造技術(shù)難題。針對(duì)人體或機(jī)械裝備穿戴需求，制備基于原子團(tuán)簇功能材料的柔性薄膜陣列傳感器，實(shí)現(xiàn)應(yīng)用驗(yàn)證。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年，開(kāi)發(fā)出基于團(tuán)簇墨水的柔性傳感器打印技術(shù)，團(tuán)簇墨水材料不少于3種，傳感物理量不少于3種，傳感器陣列密度>100個(gè)/cm²；其中壓力傳感范圍優(yōu)于5kPa-50MPa，彎折柔性薄膜性能變化小于±10% @＞10萬(wàn)次，柔性溫度傳感器響應(yīng)范圍10℃-80℃，精度≤0.5℃。

三、公共支撐

（一）高分辨透射電子顯微鏡

揭榜任務(wù)：面向原子級(jí)加工中結(jié)構(gòu)演變的動(dòng)態(tài)表征和原子級(jí)制造產(chǎn)物性能及可靠性的綜合評(píng)測(cè)需求，突破高相干性場(chǎng)發(fā)射電子源穩(wěn)定發(fā)射、